• UHV薄膜作製装置

●極清浄環境での薄膜成長を実現します。

EG-260型薄膜作製装置は3連型3kWEBガンを2台装着でき、さらに拡張ポートにKセルもしくはEBガンのいずれか2台を増設することによっての最大8元、同時4元成膜が可能となる高効率な成膜装置です。

オプションの傾斜成膜マスクを取り付ければ多元混晶材料開発にも応用できます。