• UHVμスパッタシステム MC-50UHV

2006年発売以来、多くのユーザーに使用されています。

μスパッタカソード(MC-50A)のUHV仕様で従来の使いやすさを元に開発しました。

●ICF70マウントUHVカソード

●ターゲット寸法:φ1インチ

●耐真空度:10~8Pa台

●マグネット磁場の強化により強磁性ターゲット対応

●ICF70マウントフランジへは、パワー、冷却水、ガスの導入まで可能

●ICFマウントフランジからカソード先端長はリクエスト可能

●標準RF電源(RG100M)は、MC-50Aと共通です

  •  ■仕様 μスパッタカソード MC-50U

マグネトロンスパッタカソードとしては世界最小クラスの、ターゲットサイズφ1”カソードです。

部品を簡素化して価格を抑えました。お手持ちの装置に気軽に取り付けられるサイズです。

【カソード仕様】

取り付け ●ICF70
奥行き ●最小80㎜ 最大250㎜
到達圧力 ●1.0E-8Pa以下
ターゲット寸法 ●外径1インチ 18nm/min
成膜レート ●ターゲットCuRF30WTS間50㎜
●ターゲットFe

【MC専用電源】

周波数 ●13.56MHz±1kHz
出力電力 ●0~100W
出力安定度 ●±1%電源電圧±7%時
出力制御 ●0~5VDC リニア制御 本機より
出力表示 ●デジタルメーター最小単位0.1W
出力インピーダンス ●抵抗分:1~60Ω 
●リアクタンス分:J40~J200Ω
高周波出力 ●2次波 その他-45dB以下
必要電源 ●100VAC 単相50~60Hz 300VA最大
温度 ●-20℃~+50℃ -20℃~+30℃/連続運用
クーリング ●強制空冷
寸法 ●130㎜高×303㎜奥行き×280㎜幅
質量 ●6㎏

※仕様寸法など改良のため、予告なく変更する場合がありますのでご了解ください。