• 試料ホルダー真空保管装置 EMH-600

●電子顕微鏡の試料ホルダー、観察試料、交換部品などを常時高真空下に保持するための真空排気装置です。

  • ■仕様
耐真空度 ●1×10-5Pa以下
保管ポート ●6箇所
ベーキング温度 ●100℃
排気系 ●TMP:150l/s
●RP:150l/m
●SP:300l/m
真空制御 ●TMP・真空計保護用インターロック機構付
バルブ ●ニューマチック動作
外観寸法 ●W1,000×D600×H1,150mm

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