• サンプルアニール装置 SA-502,503

●設置場所を選ばないコンパクトな設計のサンプル加熱炉です。

●最大加熱温度1,200℃が可能な筒状炉を最大3台まで装着できます。

●標準でガス導入用機構を装備していますのでCVD装置としてもご利用いただけます。

  • ■仕様
加熱石英管径 ●φ50
管状炉数 ●CA-502:2  CA-503:3
最大加熱温度 ●1,200℃
常用加熱温度 ●1,150℃
排気ポンプ ●RP 90 L/m
真空計/圧力計 ●全圧真空計/ブルドン管
設置寸法 ●CA-502:1,000W×500D×900H
●CA-503:1,300W×500D×900H