• マニュピレーター&基板加熱機構

基板サイズ・加熱方法・冷却方法・移動範囲・自動化・高位置精度制御など複数の要素の組み合わせの

ご要望にお応えします。

10㎜角から300㎜ウエハまで取り扱い実績も豊富です。

  • ■仕様
マニュピレーター ●6軸
●XY±12.5㎜ Z300㎜
●R1±180° R2 360° Ti15°
取り付けフランジ ●ICF152
基板サイズ ●10㎜角 20㎜角
到達温度 ●800℃(基板ホルダー裏面)