• 強磁性体対応μスパッタカソード MC-50MA

これまで小型スパッタカソードでは困難とされてきました。1インチφ強磁性体純鉄4Nグレードターゲットのスパッタリングが可能なスパッタカソードの製品化に成功いたしました。

これまでと同様の100WRF電源にて動作可能で、外観寸法などの差異もほとんどありませんので、既設小型真空装置に追加、小型成膜装置のマルチターゲット化など、様々な用途にご利用いただけます。

  • 仕様
取付けフランジ ●φ70ICF
対応RF電源 ●100W RG-100M
参考成膜レート ●1.3nm/min(RF30W TS/70㎜ Fe4N φ1μ×0.5t)