• All In One型スパッタリング装置 LS-100

必要な機能を盛り込んだAll In One型。

カソードは最大3元まで取り付け可能。

RF電源(300W)1台で最大3系統出力。

ミスオペレーションの少ない対話式操作盤。基本加熱・基本回転・膜厚計・自動圧力制御など多彩な

オプションを用意しています。

LS-100は成膜室、排気系、ガス導入系、各種電源を一つにまとめた大変コンパクトなスパッタ装置です。僅か幅800㎜×奥行き1,200㎜×高さ1,600㎜の空間さえあれば充分に運用いただけます。
対話式の排気制御盤によって排気操作は起動・制止とも自動化され、初心者の使用においても装置の故障を招きにくくなっています。
オプションを追加することで、高均一成膜や多元同時成膜など本格的な薄膜作製装置としてもお使いいただけます。
研究室に1台、省スペースで多機能なユーティリティーマシンとしてご活用ください。
  • ■標準構成および仕様
覗き窓 ●有効径 φ60以上(シャッター付き)
排気系 ●50L/S TMP 90L/min RP
排気制御盤 ●排気ポンプ・バルブ類集中制御
 インターロック停電復帰防止用リレー回路付き
圧力調整弁 ●ICF70手動バタフライバルブ
ガス導入系 ●A:50sccm MFC O2:5sccm
 MFC MFC前後に圧空駆動バルブ付き
真空系 ●水晶真空センサー&冷陰極管真空計
  測定範囲: 大気圧~1.0E-7Pa
スパッタカソード ●φ2" 標準1台装備
RF電源 ●13.56MHz 最大300W オプションで3ch出力切換可、
 オートマッチング付き
ターゲット寸法 ●非磁性材料 φ50.8mm×3t
●磁性材料 φ50.8mm×1.5t
プロセス圧力 ●0.5Pa~1.0Pa(Arガス)
所要スペース ●幅800mm×奥行1200mm×高さ1600mm
質量 ●約120kg
使用環境 ●温度:3~45℃
●相対湿度:20~80%RH
所要電力 ●AC100V 30A
所要空気圧 ●4kgf/cm2以上
所要冷却水 ●RT 2L/min (圧力2kgf/cm2以上)