• 小型UHV対応加熱ユニット ULH1000

●超高真空下で小型試料を1000度まで加熱処理ができるユニットです。

●取り付けフランジはICF70ですので非常に使いやすい加熱機構となっています。

  •  ■仕様
取り付け基板 ●φ1インチ(MAX)
測温(基板裏面) ●1000℃MAX:焦点より5㎜位置
ヒーターランプヒーター ●300W(MAX)
冷却ブロック水冷量 ●500cc/m以上
対電圧 ●TypeK(TypeC選択可能)温度:基板裏面
ベーク温度 ●200℃
  •  ■オプション
加熱電源(SCR-S30) ●PID制御 SCR駆動