• 多元抵抗加熱蒸着装置 KISシリーズ

●加熱電源パネルでソース切替が可能。

●内部メンテが簡単。

●大型ハッチ。

  • ■仕様
ワイドハッチ付
蒸着チャンバー
KIS3-001
●寸法…Φ318×300
●材質…SUS30
●ハッチ…Φ400JIS
(ICF70 防着ガラス付覗き窓)
●到達真空度…1.0E-5Pa
●サービスポート…ICF70×3(追加可能)
排気システム 200L/s 
TMP1
●160L/min RP
●NW25 配管部品
基板ホルダー ●取付可能最大基板: Φ100mm
●基板回転タイプ:回転方向…CW, CCW
●回転速度…15rpm(max)
●基板チルトタイプ:チルト角度…±15°
蒸発源 ●最大投入電流…150A、
 バスケット容量…0.2cc、
 シャッタ
   手動蒸着源は2元タイプ(KIS3-512S)
   3元タイプ(KIS3-513S)
   のどちらかを選定下さい
蒸着源加熱電源 ●KIS3-503
 入力…AC100V
 60A最大出力…10V 150A
 3ch切替式
膜圧計(SQM-160) ●KIS3-005
 レート分解能…0.055Å/s
 膜厚表示単位…1Å
 センサー数…1個(2個まで装着可能)
全圧真空計(ATC35CKD) ●KIS3-006
 測定範囲…大気圧から1.0E-8Pa、フィラメント切替式
架台及び
ユーティリティパッケージ
●KIS3-007
 架台寸法…下記設置寸法図参照、
  水盤3系統(フローswオプション)