• iProbeプラズマモニター PMS-1000
  • ■仕様
プラズマ電位 ●-150~+150V
電子(プラズマ)密度 ●1015~1019m-3(同一プローブ)
電子温度 ●0.2~20eV
プローブ電圧掃印範囲 ●-190~+190V
プローブ電流 ●~20mA
PMS-1000に含まれるもの ●i-Probe深針(ICF70取付):1式
●測定器機:1式
●ソフトウエア:1式
  • ■オプション
計測制御PC ●1式
i-Probe深針の移動機構 ●1式