• イオンビーム反応蒸着装置
  • ■仕様
排気系 ●チェンバー ICF356×H925 SUS304(メインch)
       ICF203×H350 SUS304(サブch)
●排気ポンプ TMP/M1000ℓ/S(メインch)
       TMP150ℓ/S(サブch)
●真空計   電離真空計(ヌード型)、ピラニ―真空計
基板加熱機構 ●1インチ、SUS製(スライド方式)、Taヒーター(ホルダー裏面400℃)
●4軸マニュピレーター(X.Y,Z.L)
蒸着源 ●10KW  6連EB蒸着源(スライド機構付)
その他 ●RFプラズマソース(マスフローコントローラ含)
●膜厚計(デュアルタイプ)
●シャッター機構(2ch)
●大型(ICF305)メンテナンスハッチ(メインch)
●チェンバーベーク機構(4ch:タイマー付)
到達真空度 ●5×10-9Torr
オプション ●R-HEED