• 3KVイオン銃

3KVイオン銃は、超高真空中で試料表面のクリーニングを目的として「Arスパッタイオン銃」で、

薄膜作成準備、表面分析の実験研究用として利用されています。

  • ■3KVイオン銃(SIG030)仕様
ビーム電圧 ●DC3KV 2mA
フィラメント電流 ●5A
ビーム径 ●φ14㎜
動作真空度 ●70μA/㎠
ベーク温度 ●250℃(単体)
取り付けフランジ ●ICF114(ICF70)

【オプション】

●ビームアライメント機構(偏向レンズX-Y)

●差動排気機構

●ガス導入機構

  • 3KVイオン銃電源(IGP030)仕様
加速電源 ●+3KV 2mA
イオン化電源 ●DC150V 0.3A
フィラメント電源 ●AC20V 5A(オートエミッション)
レンズ電源 ●DC-3KV 0.5mA
入力電源 ●AC100V
インターロック機構 ●標準装備
電源ケース ●JIS150×480×430