• ガス分析差動排気装置 GAV-100

真空残留ガス分析からプロセスモニター用の質量分析器用差動排気装置です。

  • ■特徴

●ラボチェンバー用真空装置(LVA-1)を採用した操作しやすいシステム。

●大気圧から質量分析器の最大使用圧力への排気コントロールが可能です。

●高真空排気装置のガス分析も可能です。

●排気ポンプの容量選択が可能です。 TMP50L~350L/s、補助ポンプ 50L~200L/m

●研究開発用各種ガス分析から、CVD,PVD装置のプロセス中のガスモニター、残留ガス分析が可能です。

●ご希望の質量分析装置の組み込みに対応いたします。

  • ■仕様
マニホールドチェンバー ICF70 6way((SUS304)
質量分析器 ~300AMU(オプション)
バリアブルリークバルブ 大気圧~10-8Pa程度
広域真空計(1ch) 1×10-7-7Pa~1×105Pa(C-Cゲージ)
TMP 60L/s(N
ドライポンプ 100L/m
アイソレートバルブ 大気圧~10-2Pa程度
CHリークバルブ ダイヤフラムバルブ(VCR)
ガス導入用バルブ ダイヤフラムバルブ(VCR)
被検体接続ポート NW40(ICF70変更可)
停電対策用ブレーカー AC100V 15A
架台 420W×1100W×600D キャスター(ストッパー付)

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