• デスクトップスパッタ装置 DTS-100

本装置は、1インチまたは2インチのマグネトロンスパッタ電極を装着可能な小型卓上スパッタ装置です。

基板は最大20㎜までチャンバーフロントハッチから取り付けができます。

  • ■仕様

【チャンバー部

●標準装備

チャンバー ●クロス型(SUS304)
●ICF152×2,ICF114×1,ICF70×2
●φ152×1,NW25×1
ハッチ ●全面ビューポート(アクリル製)
●防着ガラス付
基板ホルダー ●取付基板 20mm(MAK)
基板/電極間隔調整機構 ●ICF114フクロナット方式
ガス導入機構(手動) ●ストップバルブ,ニードルバルブ

●スウエージ接続

チャンバーリークバルブ(手動) ●ストップバルブ
真空計 ●NW25コンベクトロンゲージ(スパッタ圧力表示用)

●オプション

●基板シャッター
●基板加熱機構
●基板水冷機構
●マスフローメーター
●広域真空計(~10-7pa)

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【排気系部】

●標準装備

TMP ●50L/sICF114空冷
RP ●50L/mNW25(自動リークバルブ付)
メインバルブ(手動)口径φ50 ●排気調整用バタフライバルブ
ユニットラック ●パワーソース,RPスイッチ,予備コンセント

●オプション

●フォアライントラップ
●オイルミストトラップ
●クロールポンプ(90L/m)

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【スパッタ部】

●標準装備

μスパッタ電極(MC-50)
●1インチスパッタ電極
同上用RF電源(RG-100M) ●RF100W

●オプション

●2インチスパッタ電極(MC-75)
●同上用RF電源(RG-300):RF300W

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外形寸法 ●架台:H480×W360×D500
●チャンバー:H200×W200×D250
電源容量 ●AC100V15A
冷却水 ●1L/m程度
質量 ●65㎏