• コア技術 真空技術紹介

真空技術は1643年トリチェリ―の水銀柱実験により真空の確認から今日まで、大気圧から極高真空領域まで幅広く多くの産業を支える基盤技術として貢献しております。

真空管を始めとし今日では、食料品から加速器、そして集積回路の製造に利用されており、当社の超高真空技術はそれらと共に発展し、製品の提案、提供をしてまいりました。

分子線エピタキシー装置(MBE)、UHVスパッタ装置によるシリコンウエハー上の薄膜成長装置は集積回路の開発、放射光利用の加速器技術においても不純物の少ない条件を必要とし、表面研究、分析を行う上で試料の汚染を防ぐ技術が必要です。

  • ■リニアック(J-PARCより)
  • ■分子線エピタキシー装置(MBE)